高壓發(fā)生器的整個(gè)極性轉(zhuǎn)換涉及一系列過(guò)程，例如發(fā)電機(jī)降壓，接地，硅堆極性切換，接地和升壓。 在極性切換過(guò)程的每個(gè)步驟中使用大量時(shí)間。 為了縮短極性切換時(shí)間并實(shí)現(xiàn)直流高壓發(fā)生器的快速極性切換，需要縮短每個(gè)過(guò)程的時(shí)間。
(1)、降壓過(guò)程：加速降壓速度是縮短極性切換的一個(gè)方面，并且主要通過(guò)增加放電電阻來(lái)實(shí)現(xiàn)加速降壓速度。 增加放電電阻不會(huì)增加放電電阻器的總電阻，而是增加與分壓器并聯(lián)的相同電阻值的電阻器的數(shù)量。 列數(shù)越多，總電阻值越小，降壓速度越快。 同時(shí)，應(yīng)考慮放電電阻的下限，因?yàn)檫^(guò)小的放電電阻將不可避免地導(dǎo)致器件正常工作期間漏電流的增加。
(2)、接地開(kāi)關(guān)接地過(guò)程：在此過(guò)程中，將測(cè)試電壓接地到零或小電壓值需要很長(zhǎng)時(shí)間。 當(dāng)直流高壓發(fā)電機(jī)電壓從測(cè)試值降低到一定水平時(shí)，通過(guò)直接接地快速接地開(kāi)關(guān)的方法可以大大縮短接地開(kāi)關(guān)的接地過(guò)程。 但是，滿(mǎn)足高壓的接地快速接地開(kāi)關(guān)可以承受所有高壓和大電流，這對(duì)快速接地開(kāi)關(guān)來(lái)說(shuō)是極其苛刻的。
(3)、硅堆極性轉(zhuǎn)換過(guò)程：簡(jiǎn)而言之，硅堆棧需要實(shí)現(xiàn)快速極性切換，以轉(zhuǎn)換內(nèi)部單管極性。要實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)，首先要考慮動(dòng)機(jī)問(wèn)題。目前，有三種Z簡(jiǎn)單的動(dòng)力，由電動(dòng)，氣動(dòng)和液壓方法驅(qū)動(dòng)。根據(jù)本文直流高壓發(fā)生器的結(jié)構(gòu)，在高壓下不可能實(shí)現(xiàn)電力，氣動(dòng)裝置具有氣缸使用的空氣源壓縮比。太大而無(wú)法實(shí)現(xiàn)硅疊層的平滑極性轉(zhuǎn)換;如果所有硅反應(yīng)器都通過(guò)氣管串聯(lián)連接，當(dāng)氣體中的濕度大時(shí)，整套設(shè)備將由于氣管排出，導(dǎo)致設(shè)備損壞等。液壓方法使用經(jīng)過(guò)真空處理的烷基苯絕緣油，不會(huì)導(dǎo)致排放。其次，油的壓縮比遠(yuǎn)小于氣體的壓縮比，可以實(shí)現(xiàn)硅反應(yīng)器的平滑極性轉(zhuǎn)換，并且可以避免其他兩種方法的問(wèn)題。相比之下，可以看出水力選擇方法是Z合理的。
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